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Hersteller/Unternehmen:

PVA TePla Analytical Systems GmbH

Deutschordenstraße 38
Westhausen
Deutschland

Projektanzahl
1
Anzahl Prüfobjekte
1

Dokumente

PV 2603-1739_Certificate_01.pdf
Gültig bis 30.04.2031
PV 2603-1739_Statement_01.pdf
Gültig bis 30.04.2031

Prüfobjekt

Name des Prüfobjekts Autowafer SAM 302 SAM0100970 mod1
Projektnummer PV 2603-1739
Erstellt am 26.05.2026
Gültigkeitsdatum 30.04.2031
Testverfahren Digital Testing
Klassifikationen Mittleres Risiko , Sehr hohes Risiko
Digital Testing

Digital Testing 
(ANSYS Fluent software (version: 2025 R2)

Zusammenfassung der Bewertungsergebnisse
 

Luft-
strömungs-qualität

Wirbelzonen

mittleres Risiko 

direkte Strömung um die Waferbahnen
mittleres Risiko
Rückströmung
mittleres Risiko
Lufströmung (entlang der Waferbahn)
sehr hohes Risko
verteilungDruck

mittleres Risiko



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